實驗室用超純水系統(tǒng)在很多地方容易生產(chǎn),如碳床、樹脂床、深度過濾等設備。雖然使用了一些方法來實現(xiàn)高電阻率,但顆粒物并沒有被有效去除,這會導致半導體器件中出現(xiàn)針孔、短路、開路、內(nèi)部擊穿和光刻膠脫落等缺陷。為了去除顆粒物,僅使用膜過濾,一般采用孔徑為0.45微米的微孔濾膜作為標準,對于特殊需要,采用孔徑為0.22微米的微孔濾膜去除膠體鐵、膠體硅和小細菌,反滲透還可以去除小顆粒。
實驗室用超純水系統(tǒng)由預處理(多介質(zhì)過濾+超濾裝置)系統(tǒng)、反滲透系統(tǒng)、EDI電除鹽系統(tǒng)做為核心工藝。超濾系統(tǒng)、反滲透系統(tǒng)的低壓管路部分到EDI裝置進水均采用UPVC管路,反滲透高壓管路則采用承壓好的不銹鋼管。在EDI出水至拋光混床前采用Clean-PVC材質(zhì),拋光混床后至回流管道采用PVDF材質(zhì)。
實驗室用超純水系統(tǒng)本身就擁有著非常合理的結構設計,設備結構設計相對靠緊,所以其占地非常小,可以為企業(yè)節(jié)省很多空間,實驗室用超純水系統(tǒng)在出廠前均需進行裝置調(diào)試,所以設備故障幾率較小,日常保養(yǎng)、維修等操作都非常簡單。
設備內(nèi)部還安置有反滲透預脫鹽技術,再次從根本上行保障了水處理設備的出水水質(zhì),與此同時,超純水制取設備廢水產(chǎn)出量少,不會對環(huán)境造成污染,有非常高的環(huán)境效益、經(jīng)濟效益,其發(fā)展前景廣闊。
實驗室用超純水系統(tǒng)的安裝流程:
(1)、在選定的位置打孔或固定超純水設備??滓獔A滑,深度、孔距要準確,孔圍不能有裂痕或缺口、毛邊。
(2)、與自來水管連接。先關閉自來水總閥,連接超純水設備,接口要纏生膠帶,不能漏水。
(3)、連接濃水排放口。純水機可將排污管直接放入排污管道,端口要留一定空間,以避免污水倒流入直飲水設備,防止排污口“虹吸”現(xiàn)象產(chǎn)生;如將直飲水設備排污管直接放入排污管道,應在排污管端裝一球閥,不定時打開可起到排污作用;也可將排污管直接與原先自來水龍頭相連。排污管與直飲水設備排污口一定要接好,不能漏水。